[¹ÝµµÃ¼ Ưº°°ú¿Ü] '³²¹æÇѰ輱'À» ³Ñ¾î¼¾ß ºñ·Î¼Ò º¸ÀÌ´Â °Í
(¼¿ï) À̺À·Ä ±âÀÚ = ¿ëÀο¡ °Ç¼³Çϱâ·Î °èȹ ÁßÀÎ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍ ´ë½Å, ¼öµµ±Ç °ú¹Ðȸ¦ ¸·°í Áö¿ª ±ÕÇü¹ßÀüÀ» À§Çؼ Àç»ý¿¡³ÊÁö°¡ dzºÎÇÑ È£³²¿¡ RE100 »ê´ÜÀ» Á¶¼ºÇؼ °Å±â¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀ» ÁþÀÚ´Â À̾߱⸦ ÁÙ°ð ÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. ±×·¯¸é ´ñ±Û¿¡ ¹Ýµå½Ã µû¶óºÙ´Â ´Ü¾î°¡ Çϳª ÀÖ½À´Ï´Ù.
¹Ù·Î '³²¹æÇѰ輱'ÀÔ´Ï´Ù. ¿ø·¡ ÀǹÌÀÎ ±º»çºÐ°è¼± ±âÁØ ³²ÂÊ 2km ¼±ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, ¼¿ï°ú ¼öµµ±Ç¿¡ °ÅÁÖÇÏ´Â ÀÎÀçµéÀÌ Ãë¾÷À» À§ÇØ ³»·Á°¥ ¼ö ÀÖ´Â ½É¸®Àû ¸¶Áö³ë¼±À» ÀÏÄ´ ¸»ÀÔ´Ï´Ù. ÇàÁ¤±¸¿ªÀ¸·Î Á¤ÇØÁø °Ô ¾Æ´Ï´Ù º¸´Ï Á÷Á¾¿¡ µû¶ó ±× À§Ä¡°¡ ´Ù¸¨´Ï´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¹«Á÷À̳ª ¿¬±¸°³¹ßÁ÷Àº ÆÇ±³¸¦, ±â¼úÁ÷Àº ±âÈï ¶Ç´Â µ¿Åº Á¤µµ¸¦ ¸¶Áö³ë¼±À¸·Î º¾´Ï´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÆòÅÿ¡ ´ë±Ô¸ð ¹ÝµµÃ¼ ÆÕ ´ÜÁö¸¦ Á¶¼ºÇÏ¸é¼ ±â¼úÁ÷ÀÇ ³²¹æÇѰ輱Àº ÆòÅñîÁö Á¶±Ý ´õ ³Ð¾îÁ³½À´Ï´Ù.
¿©±â±îÁö¸¸ ºÁµµ ÀÌ ´Ü¾îÀÇ Â÷º°Àû Ư¼ºÀ» °í½º¶õÈ÷ ´À³¥ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. »ç¹«Á÷À̳ª ¿¬±¸Á÷Àº ÆÇ±³ ¾Æ·¡·Î ³»·Á°¡Áö ¾Ê´Â °í±ÍÇÑ Á÷±ºÀ̰í, ±â¼úÁ÷Àº ±×º¸´Ù ³·Àº Á÷±ºÀ̶ó Á» ´õ ¸Ö¸® °¥ ¼ö ÀÖ´Ù°í Àº¿¬Áß¿¡ Á¤ÀÇÇϰí ÀÖÀ¸´Ï±î¿ä. ÀÌó·³ ½Çü°¡ ºÒºÐ¸íÇϰí Â÷º°ÀûÀÎ Á¶¾î¸¦ ±Ù°Å·Î ÀϺΠ¾ð·ÐµéÀº È£³²¿¡ ÆÕÀ» Áö¾îµµ ÀÎÀ縦 ±¸ÇÏÁö ¸øÇØ ¿î¿µÀÌ ¾î·Á¿ï °ÍÀ̶ó°í ÁÖÀåÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·± Æí°ßÀ» °æ°èÇØ¾ß ÇÒ ¾ð·ÐÀÌ ¿ÀÈ÷·Á Àû±ØÀûÀ¸·Î Áö¹æ Â÷º°À» Á¶ÀåÇϰí ÀÖ´Â ¼ÀÀÔ´Ï´Ù.
¼öµµ±Ç¿¡¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀ» ¸ð¾Æ ³õÀº ³ª¶ó´Â Çѱ¹»Ó

|
¡ãTSMC ȨÆäÀÌÁö¿¡ ¼Ò°³µÈ ÆÕ(FAB) À§Ä¡. ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀº ¸®½ºÅ© °ü¸®¸¦ À§Çؼ ºÐ»ê ¹èÄ¡°¡ ¿øÄ¢ÀÔ´Ï´Ù ¨Ï TSMC
|
°ú¿¬ Áö¹æ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅ͸¦ Á¶¼ºÇϸé Àη ä¿ë¿¡ ¹®Á¦°¡ »ý±æ±î¿ä? ¿Ü±¹ÀÇ »ç·Ê´Â ¾î¶³±î¿ä? ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ÆÕÀ» ¿î¿µÇÏ´Â ´ë¸¸ TSMCÀÇ º»»ç´Â ºÏºÎ ½ÅÁÖ °úÇдÜÁö¿¡ ÀÖÁö¸¸, ÁߺΠŸÀÌÁß°ú ³²ºÎ ŸÀ̳¿¡ ÆÕÀ» ºÐ»ê ¹èÄ¡ÇØ ³õ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. À̰ɷεµ ºÎÁ·Çؼ ¹Ì±¹°ú ÀϺ»¿¡ º°µµÀÇ ÆÕÀ» Áþ½À´Ï´Ù.
TSMC´Â µµÄì¿¡¼µµ ÇÑÂü ¶³¾îÁø ÀϺ» ±¸¸¶¸ðÅäÀÇ ½Ã°ñ ¸¶À»¿¡ ÆÕÀ» Áö¾ú½À´Ï´Ù. ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ »çȰÀ» °É°í Áö¿øÇÏ´Â ÀϺ»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÎ '¶óÇÇ´õ½º'ÀÇ ÆÕ ¿ª½Ã µµÄì¿¡¼ ¸Õ ȪīÀ̵µ¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸¶Ä¡ ¼öµµ µµÄ츦 ÀϺη¯ ÇÇÇØ ³²´Ü°ú ºÏ´ÜÀ¸·Î Èð¾îÁø Çü»óÀÔ´Ï´Ù.
ÀÎÅÚ ¶ÇÇÑ ¼ö½ÊÁ¶ ¿øÀ» µé¿© Áþ´Â »õ ÆÕÀÇ ÀÔÁö·Î ´º¿åÀ̳ª LA ±Ùó°¡ ¾Æ´Ñ, ¿ÀÇÏÀÌ¿ÀÀÇ ¹úÆÇ°ú ¾Ö¸®Á¶³ªÀÇ »ç¸·À» ÅÃÇß½À´Ï´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ÆÕÀ» Áþ´Â ÅØ»ç½ºÁÖ Å×ÀÏ·¯ ¿ª½Ã ÇãÇã¹úÆÇÀÔ´Ï´Ù.
±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ÀÌ·± ÀÔÁö¸¦ °í¸£´Â ÀÌÀ¯´Â ¸íÈ®ÇÕ´Ï´Ù. ù°, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Àü·ÂÀÌ Ç³ºÎÇÑ °÷À̾î¾ß Çϱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ÃÖ÷´Ü EUV ³ë±¤ Àåºñ ÇÑ ´ë°¡ ¾²´Â Àü·Â·®Àº À¢¸¸ÇÑ ¸¶À» Çϳª¸¦ °¨´çÇÒ ¼öÁØÀÔ´Ï´Ù. ¿ëÀΠŬ·¯½ºÅÍ °¡µ¿À» À§ÇØ ¿øÀü 16±â¿¡ ´ÞÇÏ´Â Àü·ÂÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â Á¡À» °í·ÁÇϸé, Àü±â°¡ ÀÖ´Â °÷¿¡ ÆÕÀ» Áþ´Â °ÍÀº »ó½ÄÀÔ´Ï´Ù.
µÑ°´Â ¸®½ºÅ© ºÐ»êÀÔ´Ï´Ù. õÀçÁöº¯À̳ª Å×·¯ µî ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ »ç°í·Î ±¹°¡ Àü·« »ê¾÷ÀÌ ÇѲ¨¹ø¿¡ ¸ØÃßÁö ¾Êµµ·Ï ºÐ»ê ¹èÄ¡ÇÏ´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù. ´ë¸¸, ÀϺ», ¹Ì±¹Àº Ŭ·¯½ºÅͶó´Â À̸§ ¾Æ·¡ ¸ðµç À§ÇùÀ» ÇÑ °÷¿¡ ¸ô¾Æ³Ö´Â À§Çèõ¸¸ÇÑ ¼±ÅÃÀ» ÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. À¯·´ÀÇ ÆÕµéÀº ¾Æ¿¹ ÆÕÀ» °¢°¢ ´Ù¸¥ ³ª¶ó¿¡ ¹èÄ¡ÇÕ´Ï´Ù.
±×·¸°Ô ÆÕÀ» ºÐ»ê ¹èÄ¡ÇØµµ ÀÎÀçµéÀ» ä¿ëÇÏ´Â µ¥ ¾î·Á¿òÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀ» ¿î¿µÇÏ´Â ±â¾÷µéÀº ´ëºÎºÐ ¼¼°èÀûÀ¸·Î À̸§³ ±â¾÷ÀÏ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, Á÷¿øµé¿¡ ´ëÇÑ ´ë¿ìµµ ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀ¸·Î ÇØ Áֱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ¹Ì±¹ ÅØ»ç½ºÀÇ À̸§µµ ³¸¼± Áö¹æ ¼Òµµ½Ã¿¡ Áþ°í ÀÖ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÕ¿¡µµ Çѱ¹¿¡¼ ÆÄ°ßµÈ Á÷¿øµéÀÌ À߸¸ ÀÏÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
Áö¹æ¿¡ ÆÕÀ» ÁöÀ¸¸é ÀÎÀç°¡ ¾È ¿Â´Ù´Â ÁÖÀåÀº Àΰú°ü°è°¡ µÚ¹Ù²î¾ú½À´Ï´Ù. ±¹°¡°¡ ¸ðµç ÀÎÇÁ¶ó¿Í ±âȸ¸¦ ¼öµµ±Ç¿¡¸¸ ¸ô¾ÆÁÖ´Ï, ÀÎÀçµéÀÌ ¼öµµ±Ç ¹ÛÀ¸·Î ³ª°¡´Â °ÍÀ» Ãß¶ôÀ¸·Î ¿©±â°Ô µÈ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
°ú°Å Æ÷Ç× Á¦Ã¶¼Ò, ¿ï»ê Á¶¼±¼Ò, ¿©¼ö ÈÇдÜÁö¸¦ ¸¸µé ¶§ ³²¹æÇѰ輱 ¶§¹®¿¡ ÀÎÀç°¡ °¡Áö ¾ÊÀ»±î °ÆÁ¤Çß¾ú³ª¿ä? ±¹°¡°¡ Àü·«ÀûÀ¸·Î °á´ÜÇÏ°í ±³À°, ÀÇ·á, ¹®È ȯ°æÀ» ÇÔ²² Á¶¼ºÇÑ´Ù¸é ÀÎÀç´Â ÀÚ¿¬½º·´°Ô ¸ð¿©µì´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀº ¿¬±¸¼Ò¿Í ´Ù¸¨´Ï´Ù. ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ý»êÇÏ´Â 'Á¦Á¶ ½Ã¼³'ÀÔ´Ï´Ù. Àåºñ¸¦ ¿î¿ëÇÏ´Â ¿ÀÆÛ·¹ÀÌÅÍ, À¯Áö °ü¸®¸¦ ´ã´çÇÏ´Â Å×Å©´Ï¼Ç, °øÁ¤À» °ü¸®ÇÏ´Â ¿£Áö´Ï¾î µî ´Ù¾çÇÑ ¼÷·Ã ÀηÂÀÌ ÇÊ¿äÇϸç, À̵éÀº ¹Ýµå½Ã ¼öµµ±Ç ¿¬±¸¼Ò ¿·¿¡ »ì¾Æ¾ß ÇÒ ÀÌÀ¯°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼´Â »ý»ê ½Ã¼³, ´Ù¸¥ »ê¾÷°ú ´Ù¸£Áö ¾Ê´Ù

|
¡ã ¹ÝµµÃ¼ ÆÕ¿¡¼ ÀÏÇϰí ÀÖ´Â ¿ÀÆÛ·¹ÀÌÅÍÀÇ ¸ð½À ¨Ï »ï¼ºÀüÀÚ È¨ÆäÀÌÁö
|
±×·³¿¡µµ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ÃÖ÷´Ü »ê¾÷ÀÌ°í ¼®¹Ú»ç±ÞÀÇ ÃÖ°í ÀÎÀçµéÀÌ ÇÊ¿äÇѵ¥, ±×µéÀÌ Áö¹æ¿¡ °¡´Â °É ²¨¸®¸é ¿ì¸® ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÇ °æÀï·ÂÀÌ ¶³¾îÁö°Ô µÉ °Í ¾Æ´Ï³Ä°í ¹¯´Â À̵éÀÌ ¸¹½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀº ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ »ý»ê ½Ã¼³ÀÔ´Ï´Ù. ¼®¹Ú»ç±Þ ¿¬±¸ ÀηÂÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¿Í °³¹ßÀ» À§ÇØ ÀÏÇÏ´Â °÷ÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, ±×µéÀÌ ¼³°èÇÏ°í °³¹ßÇÑ ´ë·Î ¿þÀÌÆÛ¸¦ »ý»êÇÏ´Â °÷ÀÔ´Ï´Ù. °íµîÇб³¸¦ Á¹¾÷ÇÑ Á¦Á¶Á÷ ¿ÀÆÛ·¹ÀÌÅͰ¡ Àåºñ¸¦ ¿î¿ëÇϰí(ÃÖ÷´Ü ÆÕ¿¡¼´Â ÀÚµ¿È·Î ÀÎÇØ ÀοøÀº Å©°Ô ÁÙ¾ú½À´Ï´Ù), °íµîÇб³ ¶Ç´Â Àü¹®´ëÇп¡¼ ±â¼úÀ» ÀÍÈù Å×Å©´Ï¼ÇµéÀÌ Àåºñ À¯Áö °ü¸®¸¦ ´ã´çÇϰí, ´ëÇп¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ¶Ç´Â ±âÃÊÇй®À» Àü°øÇÑ À̵éÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤À» °ü¸®ÇÕ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÆÕ ¿î¿µÀ» À§ÇØ ÇÊ¿äÇÑ ´Ù¸¥ ºÎ¼µé ¿ª½Ã Çлç Ãâ½Å¸¸À¸·Îµµ ÃæºÐÇÕ´Ï´Ù. ¹Ì±¹¿¡¼ ¼³°èÇϰí, ´ë¸¸¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¸¸µé°í, ¸»·¹À̽þƿ¡¼ ÆÐŰ¡À» ÇÏ´Â ¼¼»ó¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÌ ¼öµµ±Ç¿¡ ÀÖ´Â ±âÁ¸ ¿¬±¸¼Ò ±Ùó¿¡ ÀÖ¾î¾ß ÇÑ´Ù´Â ÁÖÀåÀº ½ÇÁ¤À» ÀüÇô ¸ð¸£´Â À̵éÀ̳ª ÇÏ´Â ¸»ÀÔ´Ï´Ù.
³²¹æÇѰ輱À̶ó´Â Á¶¾î´Â Áö¹æ¿¡ ÁÁÀº ȸ»ç°¡ ÀÖ´õ¶óµµ ÀÎÀç´Â ¼öµµ±Ç¿¡¼ °¡¾ß ÇÑ´Ù´Â ÀüÁ¦¸¦ ±ò°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ¹Ì ±× ³²¹æÇѰ輱 ¹Û¿¡ »ç´Â À̵éÀ» Åõ¸í Àΰ£ Ãë±ÞÇÏ´Â °í¾àÇÑ ´Ü¾îÁÒ. Á¦°¡ »ì°í ÀÖ´Â ½Ì°¡Æ÷¸£¿¡´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀ» Æ÷ÇÔÇØ 15°³°¡ ³Ñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÀÌÁֳ뵿ÀÚ¸¦ Á¦¿ÜÇÑ) ½Ã¹Î±ÇÀÚ°¡ 300¸¸ ¸í ³²ÁþÇÑ ÀÌ ÀÛÀº ³ª¶ó¿¡¼µµ ÀηÂÀÌ ºÎÁ·ÇØ °æÀï·ÂÀÌ ¶³¾îÁø´Ù´Â ¼Ò¸®´Â ³ª¿ÀÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ±×¿¡ ºñÇϸé 500¸¸ Àα¸ÀÇ È£³²±ÇÀº ÈξÀ ´õ dzºÎÇÑ ÀÎÀçÇ®À» °®Ãß°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
´©¸®È£ ¹ß»ç´ë´Â Àü³² °íÈï¿¡ ÀÖ°í, °æ³² »çõ¿¡´Â ¿ìÁÖÇ×°øÃ»ÀÌ µé¾î¼¹½À´Ï´Ù. ¼¼°èÀû ±â¼ú·ÂÀÇ Á¶¼±¼Ò´Â ¿ï»ê°ú °ÅÁ¦¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. Çö´ëÂ÷¿Í ±â¾ÆÀÇ »ý»ê ½Ã¼³ ¿ª½Ã ¿ï»ê, ÀüÁÖ, ±¤ÁÖ µî¿¡ ºÐ»êµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÌ ¿ìÁÖÇ×°øÀ̳ª ÷´Ü ¼±¹Ú, ÀÚµ¿Â÷ Á¦Á¶º¸´Ù ´õ Ưº°ÇÑ ÀÎÀ縦 ¿ä±¸ÇÑ´Ù´Â ÁÖÀåÀº ±Ù°Å°¡ ºó¾àÇÕ´Ï´Ù.
ÀÎÀ縦 ÇÎ°è »ï¾Æ ±âµæ±ÇÀ» À¯ÁöÇÏ·Á´Â ¼öµµ±Ç Á᫐ »ç°í¹æ½ÄÀ¸·Î´Â Ãâ»êÁ¶Â÷ ²¨¸®´Â ¹«ÇѰæÀï½Ã´ë¸¦ ³¡³¾ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. ¼öµµ±ÇÀÇ »ìÀÎÀûÀÎ Áý°ª¿¡ ºñÇØ Àú·ÅÇÑ ÁÖ°Å ºñ¿ë, ¾çÁúÀÇ ÀÏÀÚ¸®, ±×¸®°í ±¹°¡ Â÷¿øÀÇ ÀǷᡤ±³À° ½Ã¼³ Áö¿ø¸¸ µÞ¹ÞħµÈ´Ù¸é ÀÎÀçµéÀº ÁÙÀ» ¼¼ ³»·Á°¥ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
³²¹æÇѰ輱À̶ó´Â Â÷º°Àû ÇÁ·¹ÀÓÀ» ±úºÎ¼ö¾î¾ß ¼öµµ±Ç °ú¹ÐÈ¿Í Áö¹æ ¼Ò¸êÀ» µ¿½Ã¿¡ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ëÇѹα¹Àº ¼öµµ±Ç¸¸ÀÇ ³ª¶ó°¡ ¾Æ´Õ´Ï´Ù. ¼öµµ±Ç°ú Áö¹æÀÌ ÇÔ²² »ì ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀº ÀÌ¹Ì Á¦½ÃµÇ¾ú½À´Ï´Ù. °á´ÜÀÌ ÇÊ¿äÇÒ ¶§ÀÔ´Ï´Ù. (º»º¸ Á¦ÈÞ <¿À¸¶ÀÌ´º½º>, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö)